Suíomh tábhachtach na teicneolaíochta liteagrafaíochta sa tionscal leathsheoltóra (4)

Suíomh tábhachtach na teicneolaíochta liteagrafaíochta sa tionscal leathsheoltóra (4)

● Saintréithe agus eitseáil dtonnta solais

Sula dtuigeann tú roinnt teicneolaíochtaí liteagrafaíochta atá gníomhach faoi láthair, lig do' s tréithe tonnta solais a thuiscint ar dtús. Tá minicíochtaí iolracha ag tonnta solais. Tagraíonn minicíocht do líon na dtonnta a théann trí phointe sa spás in aon eatramh ama (soicind amháin de ghnáth) Is é an t-aonad tomhais seo timthriall (tonn) / soicind, nó hertz (Hz). Tugtar dath ar mhinicíocht an tsolais infheicthe, idir 430 trilliún Hz (dearg) agus 750 trilliún Hz (violet). Ar ndóigh, an raon iomlán tá minicíochtaí níos faide ná an speictream infheicthe, ó thonnta raidió níos lú ná billiún Hz go gathanna gáma níos mó ná 3 billiún Hz.

Minicíocht agus fuinneamh tonnta solais

Mar a luadh thuas, is tonnta fuinnimh iad tonnta solais. Tá fuinneamh na dtonnta solais comhréireach lena mhinicíocht: tá fuinneamh níos airde ag solas ardmhinicíochta, agus tá fuinneamh níos ísle ag solas minicíochta íseal. Mar sin, tá an fuinneamh is airde ag gathanna agus tá tonnta raidió ag an fuinneamh is ísle. Is é solas infheicthe, solas violet an fuinneamh is mó, agus is é solas dearg an fuinneamh is lú.

Suíomh an tsolais ultraivialait mhór EUV

San fhigiúr thuas, is féidir linn seasamh solas ultraivialait mhór EUV sa speictream a fheiceáil go soiléir. Teicneolaíocht liteagrafaíochta tonnfhaid an-ghearr í seo, agus tá a tonnfhad nochta thart ar 13.5nm. Ag teacht leis an gcaidreamh reatha a chreidtear go teoiriciúil idir tonnfhad agus cruinneas eitseála, is féidir le teicneolaíocht EUV trasraitheoirí a eitseáil le próisis faoi bhun 5nm.

Leis an éileamh méadaitheach ar theicneolaíocht chomhtháite táirgí ciorcaid, tá feabhas leanúnach déanta ag teicneolaíocht fótografaíochta ar an rún chun méideanna feiste níos deise a tháirgeadh. Dul chun cinn na teicneolaíochta liteagrafaíochta domhanda. Go hiondúil, ní dhéantar réiteach na fótagrafaíochta a fheabhsú ach an tonnfhad nochta a ghiorrú agus an cró uimhriúil NA a mhéadú. de thelens. Go ginearálta, is é ceann de na modhanna is éifeachtaí an tonnfhad a ghiorrú.

Ach faoi láthair, maidir leis an tonnfhad a ghiorrú, tá deacrachtaí ag díoltóirí éagsúla trealaimh liteagrafaíochta, nó is é an tonnfhad an dúshlán is mó don tionscal iomlán. Maidir leis na teicneolaíochtaí gníomhacha liteagrafaíochta éagsúla, tá an tonnfhad nochta is giorra ag teicneolaíocht EUV, ach tá tá sé an-deacair a chur chun cinn faoi láthair. Cé go bhfuil an teicneolaíocht liteagrafaíochta optúil traidisiúnta 193nm sean, ach le teicneolaíocht thumoideachais a chur leis, d’éirigh léi síneadh go dtí thart ar 22nm próiseas isteach.